软X光激光用多层膜反射镜的制备与检测

被引：11

作者：

曹健林，马月英，张俊平，裴舒，陈星旦

机构：

[1] 中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室

来源：

中国激光 | 1995年 / 06期

关键词：

软X光激光反射镜，多层膜技术，制备与检测;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN24 [激光技术、微波激射技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

介绍在制备和检测软Ｘ光激光用多层膜反射镜中听做的研究工作。重点是制备过程，包括基板、镀膜设备、膜厚控制方法，以及经大量实验得出的镀膜工艺条件、给出了利用Ｘ光射线衍射仪所做的周期结构检测结果，以及利用激光等离子体作光源的精密反射率计所作的反射率测量结果。最后，对工作进展和存在的问题做了简略评述。

引用

页码：465 / 470

页数：6

共 3 条

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