软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算

被引：16

作者：

张俊平，曹健林，马月英，高宏刚，陈斌，吕俊霞，裴舒，陈星旦

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室

来源：

关键词：

软X射线多层膜，激光反射镜，膜系设计和模拟计算;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

介绍在研制软Ｘ光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分Ｘ光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能，并讨论了膜厚控制误差、表（界）面粗糙度等对性能的影响。

引用

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