一种高精细度MEMS光纤F-P压力传感器

被引：14

作者：

张韬杰

江毅

马维一

机构：

[1] 北京理工大学光电学院

来源：

激光与光电子学进展 | 2019年 / 17期

基金：

国家重点研发计划;

关键词：

光纤传感器; 压力测量; 微机电系统; 法布里-珀罗腔;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

提出并通过实验研究了一种高精细度微机电系统(MEMS)光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器基于MEMS技术,将硅片与Pyrex#7740玻璃片阳极键合并镀上高反介质膜构成一个高精细度的F-P腔。当外界压力发生变化时,F-P腔长会发生变化;采用高灵敏度光纤白光干涉测量技术,通过测量F-P腔长就可获得被测压力。实验结果表明,该传感器压力测量分辨率高,线性度高,并具有低温漂特性。

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页码：314 / 318

页数：5

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