具有梯度反射率特性的激光谐振腔输出镜设计

针对Nd:YAG激光谐振腔对输出耦合镜的设计要求,研究了梯度反射率镜的设计方法,提出了三种不同的膜系结构,这三种膜系的反射率分布均可满足单横模Nd:YAG激光谐振腔的设计要求。分析计算了设计膜系中变膜厚层沿径向的层厚允差,综合比较了这三种膜系的鲁棒性及镀制工艺的特殊性,确定了可最终付诸实施的梯度反射率镜的膜系结构,即所有膜层改变膜厚的膜系设计。