具有温度补偿的膜片型光纤光栅温度压力传感器

被引:14
作者
蔡安 [1 ,2 ]
印新达 [2 ]
常晓东 [2 ]
江山 [2 ]
机构
[1] 武汉邮电科学研究院研究生院
[2] 武汉理工光科股份有限公司
关键词
光纤光栅; 压力传感器; 弹性膜片; 温度补偿;
D O I
10.13873/j.1000-97872013.04.003
中图分类号
TN253 [光纤元件]; TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
阐述了具有温度补偿结构的膜片型光纤光栅温度压力传感器。传感器以弹性膜片为感压元件,在压力作用下产生轴向位移来压缩压力敏感光栅以实现压力传感;通过结构温度补偿消除压力敏感光栅的温度漂移,同时串入感温光栅进行实时修正并实现温度测量。对传感器的压力和温度特性进行了测量。试验结果表明:压力灵敏度为528 pm/MPa,温度灵敏度为8 pm/℃。
引用
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