引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计

被引：9

作者：

石云波

祁晓瑾

刘俊

机构：

[1] 中北大学电子测试技术国家重点实验室

来源：

关键词：

微机电系统; 高g值; 敏感元件; 阻尼设计;

D O I：

10.13290/j.cnki.bdtjs.2006.07.017

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件。通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一种新的阻尼设计方法。结合过载保护设计,较好地实现了结构阻尼控制与过载保护的融合。最后设计了一套可行的加工工艺。

引用

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