压电微位移器在超微定位系统中的应用

被引：10

作者：

王建林

刘文晖

胡晓东

胡小唐

机构：

[1] 天津大学精密仪器与光电子工程学院

[2] 天津大学精密仪器与光电子工程学院天津

[3] 天津

[4] 天津

来源：

压电与声光 | 1997年 / 02期

关键词：

压电微位移器; 柔性铰链; 闭环数字控制系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN384 [铁电及压电器件];

学科分类号：

摘要：

介绍了压电微位移器在超微定位系统中的应用,给出了一种二维超微定位机构及其控制系统。实验结果:定位系统行程10 μm,定位精度10 nm,定位分辨力2 nm。

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共 1 条

[1] 亚微米弹性微位移工作台系统的设计及其精度分析 [J].

高宏 ;

李庆祥 ;

严普强 .

清华大学学报(自然科学版), 1988, (05) :19-28