ZnO系低压压敏薄膜的喷雾热分解法制备及膜厚对其压敏特性影响的研究

被引：11

作者：

贾锐

曲风钦

武光明

宋世庚

陶明德

机构：

[1] 中国科学院新疆物理研究所!新疆乌鲁木齐

[2] 烟台大学物理系!山东烟台

来源：

功能材料 | 1999年 / 06期

关键词：

氧化锌; 低压压敏薄膜; 喷雾热分解; 压敏电压(V1mA); 非线性系数(α);

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

本研究首次报导了利用喷雾热分解法成功地制备出ＺｎＯ低压压敏薄膜。沉积温度３５０ ℃，沉积时间２ｈ，退火温度６５０ ℃，ＸＲＤ谱表明薄膜已良好晶化且薄膜的生长具有取向性。所制备的薄膜的非线性系数 α可在７．９９～２２．３８之间变化。压敏电压Ｖ１ｍＡ可在１３．５８～２５．３１之间任意变化；实验证明薄膜的厚度是决定压敏电压和非线性系数大小的重要因素之一。

引用

页码：636 / 638

页数：3

共 4 条

[1] 减小低压ZnO压敏电阻器漏电流的方法及其作用机理探讨 [J].