激光位置检测中PSD的误差分析与实验研究

被引：25

作者：

朱明珠

陈培峰

周保玉

曾为

机构：

[1] 华中科技大学激光技术与工程研究院

来源：

光电子技术与信息 | 2006年 / 03期

关键词：

激光检测; 位置精度; 位置敏感探测器; 背景光; 非线性; 插值算法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术];

学科分类号：

080904 [电磁场与微波技术];

摘要：

通过实验研究了激光光束质量对PSD输出位置精度的影响。基于PSD工作原理分析并得出了背景光强与输出结果的关系,实验中采用与测量光源匹配的滤光片来消除背景光干扰,极大提高了PSD的测量精度。并通过双一次插值算法修正PSD的非线性误差,修正后结果表明B区测量误差显著减小,线性度和测量精度明显提高。

引用

页码：10 / 14

页数：5

共 6 条

[1]

半导体激光器及其应用.[M].黄德修;刘雪峰编著;.国防工业出版社.1999,

[2]

现代传感器原理及应用.[M].贺安之;阎大鹏编著;.宇航出版社.1995,

[3]

激光准直测量中二维位置敏感器件非线性修正算法研究 [J].

陈长征 ;

莫长涛 .

机械工程学报, 2004, (04) :127-130

[4]

光电位置敏感器件背景光补偿的研究 [J].

莫长涛 ;

陈长征 ;

张黎丽 ;

孙凤久 .

中国激光, 2004, (04) :427-431

[5]

PSD位置特性与光斑及背景的关系研究 [J].

袁红星 ;

贺安之 ;

李振华 ;

王志兴 .

东南大学学报, 1999, (02)

[6]

稳定背景下PSD的位置误差分析 [J].

袁红星 ;

吕爱民 ;

贺安之 .

传感器技术, 1998, (05)

← 1 →