0.1μm大行程精密定位控制系统的研究

被引：16

作者：

米凤文

戴旭涵

沈亦兵

杨国光

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州

来源：

关键词：

精密工作台; 精密定位控制;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2000.01.027

中图分类号：

TP273 [自动控制、自动控制系统];

学科分类号：

080201 ; 0835 ;

摘要：

本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统。本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定位控制 ,并利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测。本系统工作行程 5 0 mm,定位精度± 0 .1μm。

引用

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