小型精密X－Y工作台误差的理论分析及补偿

从理论上分析了小型精密ｘ－Ｙ工作台的各种误差。针对这些误关，给出一些确实可行的措施来减小机械系统的误差；用软件对系统的几种误差进行了补偿。在此基础上，讨论了工作台开环系统及闭环系统的精度。提出了测量导轨直线性误差的新方案，使测量方法的原理误差降低到完全可以忽略不计的程度。