精密衍射光栅信号的椭圆拟合与细分校正算法

被引:21
作者
王选择
郭军
谢铁邦
机构
[1] 三峡大学机械与材料学院
[2] 华中科技大学
[3] 华中科技大学 硕士研究生
[4] 讲师
[5] 湖北省宜昌市
关键词
光栅干涉条纹; 李萨如圆; 椭圆拟合; 软件细分;
D O I
10.16567/j.cnki.1000-7008.2003.12.016
中图分类号
TN25 [波导光学与集成光学];
学科分类号
0702 ; 070207 ;
摘要
讨论了对相位差为非严格 90°的衍射光栅干涉条纹两路正弦信号的椭圆拟合算法的实现 ;提出了基于光栅正弦信号实际相位差进行残余相移识别的软件细分校正方法 ;分析了常规软件细分处理方法的缺陷并对常规细分处理方法所引起的测量误差进行了仿真。测量系统稳定下的噪声测量实验证明了本文提出的细分校正方法在提高光栅测量精度方面的有效性
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