点衍射干涉仪基准波前测试技术研究

被引：7

作者：

邵晶 ^{[1
,2
]}

马冬梅 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

[2] 中国科学院研究生院

来源：

中国激光 | 2011年 / 38卷 / 05期

关键词：

测量; 极紫外光刻; 点衍射干涉仪; 相位复原; 扩展奈波尔-泽尼克;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

针对点衍射干涉仪(PDI)的小孔衍射波前,提出了一种基于扩展奈波尔-泽尼克(Nijboer-Zernike)(ENZ)理论进行超高精度检测的方法。描述了点衍射干涉仪的工作原理和基于扩展Nijboer-Zernike多项式的相位恢复算法。分析了对光瞳函数利用Zernike多项式展开的方法。仿真实验中,当信噪比(SNR)为55 dB,采用10 bit模数转换时,得到的Zernike系数中代表波像差的虚部的恢复误差不大于3×10-5。从噪声和模数转换的角度通过模拟实验显示这种方法对实现小孔衍射波前超高精度的光学检测具有可行性。

引用

页码：209 / 214

页数：6

共 7 条

[1] 点衍射波前位相的测评 [J].