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超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势
被引：6
作者：
滕霖，任敬心
机构：
[1] 西北工业大学１００３教研室
来源：
关键词：
抛光，超精密;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH706-39 [];
学科分类号：
摘要：
综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素，对重要因素目前的研究进展进行了分析；介绍了新型超精密光学抛光技术及其达到的水平；还提出了精密先学抛光的发展趋势．
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