微驱动定位系统及其在误差补偿机器人中的应用

介绍了基于偏摆误差补偿的高速高精度机器人系统组成及偏摆误差补偿原理,利用有限元分析软件ANSYS,设计了双层平行板弹性铰链结构、压电陶瓷(PZT)直接驱动的微位移工作台。采用模糊PI控制算法对微动工作台进行闭环控制,既利用模糊控制灵活、适应性强的优点,又利用PI控制精度高的优点。实验结果验证了模糊PI控制算法的有效性,采用微动工作台补偿偏摆误差,机器人的运动性能得到较大提高。