激光直写设备调焦伺服控制系统的研究

被引：11

作者：

熊木地

肖文礼

邢忠宝

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春

来源：

光学精密工程 | 2000年 / 01期

关键词：

二元光学激光直写设备; 二级调焦系统; 两点探焦法; 归一化处理;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP271.3 [];

学科分类号：

0711 ; 071102 ; 081103 ; 081104 ;

摘要：

精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元光学激光直写设备的工作原理 ,分析了调焦伺服实现的方法 ,重点分析了由电机与压电陶瓷构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理。提出了采用两点探焦法解决刻划时焦点的跳动问题 ,采用归一化处理消除光强波动对调焦精度的影响。最后 ,给出经过这些方法改进后的调焦特性曲线

引用

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