超磁致伸缩二维精密工作台研究

在超磁致伸缩驱动器的基础上,以柔性铰链机构作为传动部件,设计了创新结构的二维精密工作台。应用ANSYS软件对所设计的柔性铰链机构进行了应力和位移分析。设计了闭环控制系统来控制工作台的输出精密和响应速度。经分析,X和Y方向的最大位移量可达0.2 mm。