基于超磁致伸缩和压电陶瓷的XY超精密定位工作台

被引：7

作者：

李翠红

孟永钢

田煜

温诗铸

机构：

[1] 清华大学摩擦学国家重点试验室

来源：

纳米技术与精密工程 | 2005年 / 04期

关键词：

超磁致伸缩材料; 压电陶瓷; 蠕动; 工作台;

D O I：

10.13494/j.npe.2005.047

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

基于蠕动运动原理,利用超磁致伸缩材料作为驱动元件研制了直线式蠕动进给机构,同时还研制了压电陶瓷-柔性框架式蠕动进给机构．后者放置于前者之上,构成了具有毫米级行程、纳米级定位精度的XY二维精密定位工作台．在计算机控制下,对XY向位移分别进行了闭环反馈控制并测试了它们的步进性能．试验结果表明,工作台在X和Y方向上可以稳定地蠕动步进或后退,X向蠕动机构定位精度为±15 nm,Y向蠕动机构定位精度为±50 nm．

引用

页码：257 / 261

页数：5

共 6 条

[1] 超磁致伸缩压电直线式蠕动机构的设计 [J].