压电驱动三维纳米定位系统的研究

被引：7

作者：

王建林

周秀珍

机构：

[1] 北京化工大学信息科学与技术学院

[2] 北京化工大学信息科学与技术学院北京

[3] 北京

来源：

压电与声光 | 2001年 / 06期

关键词：

压电陶瓷; 压电误差; 纳米定位系统; 数字闭环控制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN406 [可靠性及例行试验];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

在纳米科学与技术领域 ,纳米定位技术是实现纳米加工与测量的关键技术。本文作者采用柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为微位移驱动器 ,设计了一种新颖的三维纳米定位机构 ,给出了其刚度公式和动力学模型 ,对压电陶瓷的压电误差及其补偿方法进行了分析 ,结合激光干涉仪微位移检测装置 ,设计并研制了数字闭环控制的三维纳米定位系统。实验表明 ,该纳米定位系统定位精度优于± 0 .0 3μm,定位分辨力 3nm,最大定位时间 4 0 ms

引用

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