超磁致伸缩压电直线式蠕动机构的设计

被引：7

作者：

李翠红

叶子申

孟永钢

田煜

温诗铸

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

[2] 清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室

[3] 北京

[4] 摩擦学国家重点实验室

来源：

清华大学学报(自然科学版) | 2005年 / 08期

关键词：

蠕动机构; 磁致伸缩; 压电;

D O I：

10.16511/j.cnki.qhdxxb.2005.08.013

中图分类号：

TH112 [机构学];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

为研制大行程高精度进给机构,基于蠕动运动原理,以超磁致伸缩微驱动器为驱动元件、嵌入柔性铰链中的压电陶瓷驱动器与V形导轨配合为箝位方式,研制了超磁致伸缩压电直线式蠕动机构样机,并利用计算机对其运动进行了闭环反馈控制。运行测试结果表明,该机构能够稳定地蠕动步进和后退,位移重复定位精度可以达到±15nm。

引用

页码：1055 / 1057+1061 +1061

页数：4

共 5 条

[1] 蠕动式精密直线驱动器 [J].