蠕动式精密直线驱动器

被引:15
作者
李欣欣
卢全国
杨志刚
程光明
曾平
机构
[1] 吉林大学机械科学与工程学院
[2] 吉林大学机械科学与工程学院 吉林长春
[3] 吉林长春
关键词
蠕动; 误差补偿; 压电陶瓷; 闭环控制;
D O I
10.13229/j.cnki.jdxbgxb2003.02.005
中图分类号
TH703.8 [];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
基于蠕动原理和误差补偿技术,用压电陶瓷作为动力源设计了一种精密直线驱动器。建立了驱动器的动力学模型,并制作了样机。试验表明:在计算机闭环控制下,该驱动器能够可靠地实现双向运动。在行程为1mm时,定位精度达到±0.01μm;有效驱动力为20N。
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共 3 条
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米凤文 ;
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仪器仪表学报, 2000, (01) :89-91+94
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