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蠕动式精密直线驱动器
被引:15
作者
:
李欣欣
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机构:
吉林大学机械科学与工程学院
李欣欣
卢全国
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吉林大学机械科学与工程学院
卢全国
杨志刚
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吉林大学机械科学与工程学院
杨志刚
程光明
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吉林大学机械科学与工程学院
程光明
曾平
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机构:
吉林大学机械科学与工程学院
曾平
机构
:
[1]
吉林大学机械科学与工程学院
[2]
吉林大学机械科学与工程学院 吉林长春
[3]
吉林长春
来源
:
吉林大学学报(工学版)
|
2003年
/ 02期
关键词
:
蠕动;
误差补偿;
压电陶瓷;
闭环控制;
D O I
:
10.13229/j.cnki.jdxbgxb2003.02.005
中图分类号
:
TH703.8 [];
学科分类号
:
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要
:
基于蠕动原理和误差补偿技术,用压电陶瓷作为动力源设计了一种精密直线驱动器。建立了驱动器的动力学模型,并制作了样机。试验表明:在计算机闭环控制下,该驱动器能够可靠地实现双向运动。在行程为1mm时,定位精度达到±0.01μm;有效驱动力为20N。
引用
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页数:5
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共 3 条
[1]
0.1μm大行程精密定位控制系统的研究
[J].
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州
戴旭涵
;
沈亦兵
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杨国光
.
仪器仪表学报,
2000,
(01)
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[2]
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[3]
精密仪器设计.[M].薛实福;李庆祥编著;.清华大学出版社.1991,
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戴旭涵
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沈亦兵
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