PSD器件及其在精密测量中的应用

被引：21

作者：

张广军

机构：

[1] 北京航空航天大学自动控制系

来源：

关键词：

测高；测距；等效电路；三维运动；PSD;

D O I：

10.13700/j.bh.1001-5965.1994.03.006

中图分类号：

TM938.8 [非电量的电测量及仪表];

学科分类号：

080802 ;

摘要：

ＰＳＤ器件是近几年出现的一种新型位置探测器，可直接用来测量角度、高度、距离及运动．本文介绍了ＰＳＤ器件的工作机理，给出了三种ＰＳＤ器件的等效电路和坐标位置电流函数表达式，并就ＰＳＤ器件在位移和三维运动测量中的应用方式和应用范围进行了讨论．

引用

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