MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析

被引：13

作者：

赵锐

石云波

唐军

刘俊

机构：

[1] 仪器科学与动态测试教育部重点实验室中北大学

来源：

传感技术学报 | 2011年 / 24卷 / 08期

关键词：

MEMS加速度传感器; 大量程; 面内; 结构设计;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

针对目前导弹引信等武器系统领域对大量程加速度传感器的迫切需求,设计了一种测量平面内加速度的大量程压阻式加速度传感器。该传感器结构双端固支梁-质量块结构,可有效消除敏感轴轴间的交叉干扰,提高了测量精度。仿真分析表明传感器在敏感轴轴向灵敏度为1.41μV/gn,可实现对150 000 gn的加速度载荷的测量。

引用

页码：1118 / 1121

页数：4

共 4 条

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