InSb凝视红外焦平面组件研制和应用

被引：36

作者：

陈伯良

孙维国

梁平治

郑志伟

王正官

朱晓池

江美玲

龚启兵

丁瑞军

黄水安

机构：

[1] 中国科学院上海技术物理所

[2] 中国空空导弹研究院

[3] 中国空空导弹研究院上海

[4] 河南洛阳

[5] 上海

来源：

红外与激光工程 | 2002年 / 05期

关键词：

InSb; 焦平面列阵; 64×64元; 组件;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN215 [红外探测、红外探测器];

学科分类号：

080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

研制成功了采用光伏InSb二极管列阵工艺、直接注入Si CMOS读出电路、微型玻璃杜瓦和微型节流制冷机的 6 4× 6 4元InSb红外焦平面组件。焦平面组件平均探测率约 1× 10 11cmHz1 2 W-1,平均量子效率约 72 %,响应率非均匀性约 18%,无效像元率约 0 .5 %。其性能参数满足红外成像制导的技术要求 ,已成功进行了凝视红外成像探测系统外场试验。

引用

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