氧化钒薄膜的成分及相转变的研究

被引：9

作者：

陆松伟

侯立松

干福熹

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所

来源：

关键词：

氧化钒; 溶胶-凝胶法; 薄膜; XPS; AES; 相转变;

D O I：

10.14062/j.issn.0454-5648.1991.02.007

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

采用溶胶-凝胶浸渍法制备了V2O3凝胶薄膜,利用XPS及AES分析了不同条件下热处理得到的薄膜的表面成分。实验证明在真空6.67Pa下400℃至500℃热处理2h,得到了具有热诱导可逆相转变效应的VO2薄膜,相转变后近红外区域内薄膜的透过率明显降低,分析了热处理制度与相转变之间的关系。

引用

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