环境扫描电镜及其应用

被引：28

作者：

邵曼君

机构：

[1] 中国科学院化工冶金研究所

来源：

关键词：

环境扫描电镜，成像原理，应用;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN2 [光电子技术、激光技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

叙述了环境扫描电镜（ＥＳＥＭ）的成像原理———电子信号气体放大原理及其与常规扫描电镜（ＳＥＭ）的区别，介绍了我国第一台带高温台的ＥＳＥＭ．综述了近年来国外学者应用ＥＳＥＭ开展的一些研究工作．介绍了中国科学院化工冶金研究所应用ＫＹＫＹ１５００型ＥＳＥＭ对金属表面氧化反应中晶须／晶粒生长过程的研究

引用

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