锆钛酸铅(PZT)薄膜的自发极化与压电响应

被引：3

作者：

程晋荣

徐东

孟中岩

机构：

[1] 上海交通大学材料学院!上海大学材料学院

[2] 上海交通大学信息存储中心

[3] 上海大学材料学院

来源：

关键词：

压电薄膜; 溶胶-凝胶; MEMS;

D O I：

暂无

中图分类号：

O482 [固体性质];

学科分类号：

摘要：

用溶胶－凝胶法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）基片上制备了近等原子比的压电ＰＺＴ薄膜在准同型相界附近的ＰＺＴ薄膜的应变机制是受极化控制的压电效应、内电场导致薄膜的自发极化定向，使薄膜未经极化就具有明显的压电响应。

引用

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