探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统

被引：7

作者：

赵成强 ^{[1
]}

徐文东 ^{[1
]}

洪小刚 ^{[1
]}

李小刚 ^{[1
]}

唐晓东 ^{[2
]}

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所

[2] 华东师范大学信息科学技术学院

来源：

光学学报 | 2009年 / 29卷 / 02期

基金：

国家自然科学基金重大项目;

关键词：

光刻; 表面等离子体共振; 原子力显微镜; 探针;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305.7 [光刻、掩膜];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统。此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以及光刻效果。系统采用改进的Kretschmann型共振耦合器件,在棱镜和样品基板之间注入匹配折射率油,使样品更方便更换;利用声光调制器与AFM配合实现了等离子体激发光照射时间的精确控制。通过初步实验,在银(Ag)膜表面获得了直径100 nm左右的光刻点,验证了PSPRN的可行性。研究了光照时间、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素对光刻点大小、深度的影响,为实现更小的光刻点提供了参考。

引用

页码：473 / 477

页数：5

共 7 条

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