氧化物超导簿膜的成型技术

本文介绍了Y-Ba-Cu-O（YBCO）高Tc超导膜的两种成型方法:化学湿法刻蚀和剥离光刻技术。在化学蚀刻方法中,发现腐蚀液H3PO4/H2O的腐蚀速率R与浓度γ的关系可粗略地描述为R（?）γ（γ≤50％）,通过选择合适的溶液浓度,腐蚀速率较容易调整,在适当的腐蚀条件下,侧向腐蚀很小。剥离工艺不仅适合于加工细线条,还可以避免成型过程对膜表面的污染及减小对超导性能的影响。这两种方法已成功地应用于高Tc超导薄膜的红外探测器的制作。