微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析附视频

被引：16

作者：

王立森

胡宇群

李志宏

余同希

赵亚溥

机构：

[1] 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室

[2] 香港科技大学机械工程系

[3] 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室北京北京大学微电子学研究所

[4] 北京

[5] 香港九龙清水湾

来源：

机械强度 | 2001年 / 04期

关键词：

微加速度计; 体硅加工工艺; 冲击载荷; 失效分析; 粘附;

D O I：

10.16579/j.issn.1001.9669.2001.04.026

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁结构的整体破坏和微结构在横向之间的粘附。应用拟静态和能量方法给出微结构在冲击载荷下的响应。

引用

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