Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论

被引：29

作者：

赵亚溥

王立森

孙克豪

机构：

[1] 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室(LNM)!北京清华大学摩擦学国家重点实验室

[2] 北京

[3] 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室(LNM)!北京

来源：

力学进展 | 2000年 / 04期

关键词：

MEMS; 尺度效应; 表面效应; 微尺度粘着接触; Tabor数; 粘着数; 晶片键合;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

微电子机械系统（ＭＥＭＳ）等领域的飞速发展，促使我们迈进了一个表面效应在许多现象中占主导地位的研究领域．本文重点介绍在ＭＥＭＳ中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论．通过对两个无量纲数——Ｔａｂｏｒ数μ（以及其相应形式）和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中的表面效应愈加明显．

引用

页码：529 / 537

页数：9

共 9 条

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