长春光机所软X射线-极紫外波段光学研究(英文)

综述了我所软X射线-极紫外波段关键技术的研究进展。描述了软X射线-极紫外波段光源技术,研制了工作波段为6 ～22 nm的微流靶激光等离子体光源;介绍了光子计数成像探测器技术,研制出了有效直径为25 mm,等效像元分辨率为0 .3 mm的极紫外波段探测器;开展了超光滑表面加工、检测技术的研究,研制了超光滑表面抛光机,加工出高面形精度的超光滑表面,面形精度为6 nm(RMS值) ,表面粗糙度达0 .6 nm(RMS值) ;进行了软X射线-极紫外波段多层膜技术的研究,研制出13 nm处反射率为60 %的多层膜反射镜,150 mm口径反射镜的反射率均匀性优于±2 .5 %;最后,讨论了软X射线-极紫外波段测量技术研究,研制出该波段反射率计,其测量范围为5 ～50 nm,光谱分辨率好于0 .2 nm,测量重复性好于±1 %。在上述关键技术研究基础上,研制出了极紫外波段成像仪和空间极紫外波段太阳望远镜,这些仪器在我国空间科学研究项目中发挥了作用。