提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究

被引：11

作者：

柯才军

易新建

赖建军

机构：

[1] 华中科技大学光电系

[2] 华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室

[3] 华中科技大学光电系湖北武汉　

[4] 湖北武汉　

来源：

关键词：

微透镜阵列; 填充因子; CCD; 反应离子刻蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器的填充因子。

引用

页码：209 / 212

页数：4