TiN薄膜的多元合金化强化

被引：16

作者：

谢致薇

王国庆

蒙继龙

陈海燕

机构：

[1] 华南理工大学机械电子工程系!广东广州

[2] 广东工业大学材料科学与工程系!广东广州

来源：

关键词：

多元合金化; 离子镀; 多元膜;

D O I：

10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2000.04.029

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

多元合金化是强化 Ti N膜的有效途径之一 ,也是目前研究的热点。本文介绍了几种多元氮化物薄膜的沉积技术及性能特点 ,重点分析了性能对工艺的依赖关系。

引用

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