光程差倍增的纳米级精度激光干涉仪

被引：7

作者：

赵美蓉

曲兴华

陆伯印

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室!天津

来源：

中国激光 | 2000年 / 05期

关键词：

纳米计量; 激光干涉仪; 位移测量; 差动干涉; 光程差倍增;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪。提出了耦合差动干涉的新方法。通过对光程差进行倍增 ,提高了干涉仪的分辨率和稳定性。该干涉仪结构简洁紧凑 ,光路布局对称性好 ,不存在死光程 ,容易装调 ,符合阿贝原则和结构变形最小原则 ,在 10 mm (可以扩展至 50 mm )测量范围内 ,获得了λ/16 0 0的分辨率和纳米级的测量精度。

引用

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