红外材料硅透镜加工工艺研究

随着红外空空导弹的发展,红外光学材料单晶硅得到了广泛的应用。介绍了单晶硅材料加工透镜的工艺过程,着重研究了硅透镜的抛光技术,通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料,找到了加工硅透镜的最佳工艺匹配条件。实验结果表明:使用SiO2胶体配制的抛光液(PH 10￣11)及用抛光布制成的抛光模,采用机械-化学方法抛光出的零件表面疵病达到III级(GB1185-74),并能够通过修改抛光模控制光圈及光圈误差,加工出的硅透镜满足导弹光学系统的要求。