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128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究
被引：7
作者：
黄江平
杨春丽
黎力
杨登全
张丽华
李玉英
机构：
[1] 昆明物理研究所
[2] 昆明物理研究所 云南昆明
[3] 云南昆明
来源：
关键词：
焦平面;
非制冷探测器;
铟膜;
铟柱;
倒装互连;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN215 [红外探测、红外探测器];
学科分类号：
0803 ;
080401 ;
080901 ;
摘要：
着重介绍了我们在“1 2 8×1 2 8混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法。强调了铟膜制备基本工艺要求。根据薄膜均匀性要求 ,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量 ,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作。文中给出了铟柱列阵显微照片 (显示了铟膜厚度)和铟柱列阵的立体形貌像 ,还介绍了铟柱列阵成型方法及铟柱生长工艺流程 ,并叙述了倒装互连技术 ,且给出了我们的成像演示照片和器件照片 ,展示了UFPA的应用前景
引用
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