30.4nm极紫外成像探测器的实验研究

被引：13

作者：

朱香平 ^{[1
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赵宝升 ^{[1
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刘永安 ^{[1
,2
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缪震华 ^{[1
,2
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张兴华 ^{[1
,2
]}

邹玮 ^{[1
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机构：

[1] 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室

[2] 中国科学院研究生院

来源：

光学学报 | 2008年 / 10期

关键词：

探测器; 紫外探测; 30.4nm极紫外; 单光子计数成像; 微通道板; 楔条形阳极探测器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN23 [紫外技术及仪器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

报导了最新研制的30.4 nm极紫外成像探测器的实验研究结果。该探测器采用了楔条形阳极(WSA)、高增益V型级联微通道板组件、低噪声电子读出系统等先进技术,利用单光子计数成像技术在实验室成功获得了模拟图像。搭建了相应的实验系统,对探测器成像的线性度、空间分辨率、暗计数等性能进行了实验研究。结果表明,该探测器具有45 nm的有效面积,空间分辨率优于100μm,暗计数率低[0.4 count/(cm2.s)]、成像线性度好、结构简单等优点。

引用

页码：1925 / 1929

页数：5

共 7 条

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