30.4nm波长SiC/Mg多层膜反射镜

被引：10

作者：

朱京涛 ^{[1
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张淑敏 ^{[1
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王蓓 ^{[1
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吴文娟 ^{[1
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李存霞 ^{[1
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徐垚 ^{[1
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张众 ^{[1
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王风丽 ^{[1
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王占山 ^{[1
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陈玲燕 ^{[1
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周洪军 ^{[2
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霍同林 ^{[2
]}

机构：

[1] 同济大学物理系精密光学工程与技术研究所

[2] 中国科技大学国家同步辐射实验室

来源：

光学学报 | 2007年 / 04期

关键词：

薄膜光学; 极紫外; 多层膜; 磁控溅射; 同步辐射; 太阳He-Ⅱ谱线;

D O I：

暂无

中图分类号：

O434 [X射线、紫外线、红外线]; O484.41 [];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

波长30.4 nm的He-II谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件。为此研究了SiC/Mg、B4C/Mg、C/Mg、C/Al、Mo/Si、B4C/Si、SiC/Si、C/Si、Sc/Si等材料组合的多层膜在该波长处的反射性能。基于反射率最大与多层膜带宽最小的设计优化原则,选取了SiC/Mg作为膜系材料。采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的周期厚度,用国家同步辐射计量站的反射率计测量了多层膜的反射率,在入射角12°时,实测30.4 nm处的反射率为38.0%。

引用

页码：735 / 738

页数：4

共 5 条

[1] 软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析 [J].