关于微硅机械加速度计表头设计的几个问题

被引：3

作者：

刘云峰

董景新

曹志锦

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

[2] 清华大学精密仪器与机械学系北京

[3] 北京

来源：

测控技术 | 2002年 / 12期

关键词：

叉齿式; 微硅加速度计; 分辨率; 量程; 稳定性;

D O I：

10.19708/j.ckjs.2002.12.003

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

由于负刚度等特殊问题 ,使叉齿式微硅机械加速度计的闭环控制区别于常规闭环系统 ,并且负刚度较大地影响微加速度计工作稳定性。为此对加速度计的表头结构设计方法及理论公式进行了研究 ,推导出了在给定性能参数下 ,设计加速度计表头最小分辨率、最大量程的方法和理论计算公式。根据上述方法设计能更好地保证加速度计的工作稳定性

引用

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