TFT-LCD Mura缺陷机器视觉检测方法

针对液晶显示器(Liquid crystal display,LCD)制程中Mura缺陷检测的重要性和人工检测的弊端,研究TFT-LCD Mura缺陷的机器视觉自动检测方法。基于国际半导体设备与材料组织(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)标准中Mura缺陷的测量规范和LCD视觉检测试验平台,针对Mura缺陷边缘模糊、对比度低、图像中存在重复纹理背景和整体的亮度不均匀等特点,分别研究基于实值Gabor小波滤波的纹理背景抑制方法、基于同态变换和独立分量分析的亮度不均匀校正方法、基于主动轮廓模型和水平集方法的缺陷分割以及基于SEMI标准的缺陷量化方法,综合几个方面的研究,建立Mura缺陷自动检测流程。检测试验证明,所提出方法能较好地抑制纹理背景、校正背景亮度不均匀和莫尔条纹,准确的分割缺陷并进行量化评定。该方法适用于Mura缺陷的自动检测,检测方法与人的视觉特性相似,具有较好的鲁棒性。对于50个带有Mura缺陷的LCD样本,有48个样本被成功检测。