背入射Au/ZnO/Al结构肖特基紫外探测器

被引：9

作者：

赵延民 ^{[1
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张吉英 ^{[1
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张希艳 ^{[3
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单崇新 ^{[1
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姚斌 ^{[1
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赵东旭 ^{[1
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张振中 ^{[1
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李炳辉 ^{[1
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申德振 ^{[1
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范希武 ^{[1
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机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室

[2] 中国科学院研究生院

[3] 长春理工大学材料科学与工程学院

来源：

发光学报 | 2010年 / 31卷 / 04期

关键词：

紫外探测器; 背入射; Au/ZnO/Al垂直结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN23 [紫外技术及仪器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

设计制作了一种Au/ZnO/Al结构的紫外探测器,光的入射方式采用背入射式。ZnO薄膜是用磁控溅射在蓝宝石衬底上制备的。I-V测试表明:Au与ZnO形成了肖特基接触。得到探测器的光响应峰值在352nm,截止边为382nm,可见抑制比达一个量级。由于该探测器是一种垂直结构器件,对于进一步实现ZnO紫外探测器阵列及单光子探测有很好的研究价值。

引用

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页数：4