高精度激光三角位移传感器的技术现状

被引:93
作者
冯俊艳
冯其波
匡萃方
机构
[1] 北京交通大学理学院
关键词
三角测量法; 高精度激光位移传感器; 光电探测器; 非接触测量;
D O I
暂无
中图分类号
TN247-3 [];
学科分类号
摘要
三角测量法是一种传统的位移测量方法。随着激光器、光电探测器和计算机的发展,三角测量法有了很多新的进展和应用。对激光三角位移测量系统进行概述和讨论。根据光线的不同入射方式激光三角位移传感器主要分为两种:直入射式和斜入射式。分别介绍了这两种方法的测量原理,并对它们各自的特点进行了比较。最后阐述了高精度激光三角位移传感器的应用方向及发展趋势。
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