石英晶体振荡法监控膜厚研究

被引：19

作者：

占美琼

张东平

杨健贺

洪波

邵建达

范正修

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所上海市信箱,上海,上海市信箱,上海,上海市信箱,上海,上海市信箱,上海,上海市信箱,上海,上海市信箱,上海

来源：

光子学报 | 2004年 / 05期

关键词：

光学薄膜; 石英晶体振荡法; 光电极值法; 工具因子; 误差;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

给出了石英晶体振荡法监控膜厚的基本原理 ,在相同的工艺条件下分别用光电极值法和石英晶体振荡法监控膜厚 ,对制备的增透膜的反射光谱曲线进行了比较 ,并对石英晶体振荡法的监控结果做了误差分析结果表明 :石英晶体振荡法不仅膜厚监控精度高 ,而且能监控沉积速率 ,获得稳定的膜层折射率 ,从而有效地控制薄膜的光学性能

引用

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