薄膜厚度测控技术中的物理原理

被引：7

作者：

许世军

机构：

[1] 西安工业学院数理系!西安

来源：

关键词：

膜厚测控; 极值法; 干涉法; 石英晶体振荡法; 椭偏仪法;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

针对当前应用较为广泛的各种薄膜厚度测控技术，简明介绍了光电极值法、干涉法、石英晶体振荡法及椭偏仪法的物理原理及其应用．

引用

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页数：4

共 5 条

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