梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化

被引：13

作者：

吴天准

董景新

刘云峰

赵长德

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

来源：

关键词：

微机电系统; 梳齿式微加速度计; 性能分析; 量; 程; 稳定性; 线性度; 分辨率; 参数设计;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2006.03.016

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。

引用

页码：285 / 289

页数：5

共 4 条

[1] 电容式微机械加速度计闭环系统的零偏 [J].

吴天准 ;

董景新 ;

刘云峰 .

[2] 关于微硅机械加速度计表头设计的几个问题 [J].

刘云峰 ;

董景新 ;

曹志锦 .

[3] 静电场耦合微机电系统的动态模型 [J].

高钟毓 .

[4]

微机械梳齿式加速度计结构设计的系统考虑[A]. 刘云峰,董景新.2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C]. 2003