Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理

被引：34

作者：

池凌飞

林揆训

姚若河

林璇英

余楚迎

余云鹏

机构：

[1] 汕头大学物理系!汕头

来源：

物理学报 | 2001年 / 07期

关键词：

Langmuir探针; 二次微商; 数值滤波; 微分电路;

D O I：

暂无

中图分类号：

O536 [辐射与测量];

学科分类号：

070204 ;

摘要：

Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段 .报道了在氩气射顿 (13 5 6MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断 ,对探针I V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理 ,而后求二次微商 .在相同的放电条件下 ,使用自行设计的微分电路 ,对探针特性二次微商进行在线测量 .这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合 .

引用

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