基于光流技术MEMS平面微运动特性的测量

被引：2

作者：

张少婧

胡晓东

栗大超

胡小唐

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

来源：

纳米技术与精密工程 | 2006年 / 03期

关键词：

光流; 邻域优化; 频闪成像; MEMS谐振器; 运动特性;

D O I：

10.13494/j.npe.2006.043

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

摘要：

实现MEMS动态测试技术中平面微运动特性的测量,关键是记录MEMS运动过程中的瞬间运动状态,并恢复MEMS面内的运动历程．为此,介绍了光流技术,并提出利用邻域优化法进行微结构运动的光流计算．组建了基于频闪成像的MEMS平面运动测试系统,通过该系统获得MEMS谐振器周期运动不同相位下的清晰图像序列．利用邻域优化计算该图像序列的光流,选取合适的邻域大小和阈值,得到了MEMS谐振器在特定驱动频率下的运动幅度-相位图及其拟合曲线,从而获得微谐振器在此驱动频率下的运动幅度值为2．12μm．实验结果表明,该方法是准确有效的．

引用

页码：240 / 244

页数：5