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基于机器微视觉的微结构平面运动测试技术
被引：4
作者：
金翠云
靳世久
栗大超
冯亚林
郝一龙
机构：
[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
[2] 北京大学微电子学研究院
来源：
关键词：
微机电系统;
机器微视觉;
动态测试;
模糊图像;
光学检测;
亚像素;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH703 [结构];
学科分类号：
摘要：
为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结构的平面运动特性参数.实验结果表明,该系统测量误差小于100nm,具有较好的测量重复性精度.与现有系统相比,该系统测量原理简单,实现方便,且能满足微结构的测试需求.
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页码：248 / 252
页数：5
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