中国MEMS的研究与开发进程

被引：15

作者：

王立鼎

罗怡

机构：

[1] 大连理工大学微系统研究中心

来源：

仪表技术与传感器 | 2003年 / 01期

关键词：

微机电系统; 微型化; 集成化;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

摘要：

微机电系统 (MicroElectroMechanicalSystems)是 80年代发展起来的新兴交叉学科 ,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化 ,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义 ,13年来中国MEMS研发的总体概况 ,以及关注的热点

引用

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